光學微電子凈化工程目前已是半導體、精密制造、液晶制造、光學制造、線路板制造和生物化學、醫(yī)1藥、食品制造等行業(yè)不可或缺的重要設施。是將一定空間范圍內之空氣中的微塵粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除,并將室內之溫濕度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音震動及照明、靜電控制在某一需求范圍內,而所給于特別設計之密閉空間。
無塵車間是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除,并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內,而所給予特別設計的房間。無塵車間室內空氣經處理后,所含微粒數(shù)少于一定數(shù)量要求,一般分十萬級、萬級、千級等,即室內每立方米空間的微粒數(shù)不大于十萬、一萬、一千個……目前,無塵車間已經在電子、光學、精密儀器、注塑等行業(yè)里廣泛使用。
無塵車間在設計時一定要符合生產工藝過程的要求。不管是上工序還是下工序,兩者間的運輸距離要短,盡量避免迂回和往返運輸。車間的地面要用堅固、防滑、易清潔、不滲水、耐腐蝕的材料鋪制;墻面則要鋪有2米以上的墻裙,墻面用耐腐蝕、易清洗消毒、堅固、不滲水的材料鋪制及用淺色,防水、無毒、不易脫落、防霉、可清洗的材料覆涂。