光學微電子凈化工程目前已是半導體、精密制造、液晶制造、光學制造、線路板制造和生物化學、醫(yī)1藥、食品制造等行業(yè)不可或缺的重要設施。是將一定空間范圍內之空氣中的微塵粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除,并將室內之溫濕度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音震動及照明、靜電控制在某一需求范圍內,而所給于特別設計之密閉空間。
十萬級無塵車間的監(jiān)測
1、無塵車間系統的監(jiān)測主要是過濾器的更換周期,還有無塵車間對環(huán)境的濕度、溫度、新鮮空氣量、狀態(tài)、照度等都有嚴格的規(guī)定,保證了產品的生產質量和人員工作環(huán)境的舒適。
2、整個無塵車間系統配有一套采用初效、中效、過濾器的三級空氣凈化系統,控制潔凈區(qū)內塵粒數等。作為末端過濾裝置過濾器決定著整個凈化系統的運行效果,無塵車間裝修因此對于過濾器的更換時間是非常重要的。
3、在無塵車間的裝修里,無論是安裝在凈化空調機組末端的大風量空氣過濾器還是安裝在送風口的空氣過濾器,這些必需要有準確性的運行時間記錄和潔凈度及風量作為更換依據,如在常態(tài)的使用情況下,過濾器的使用壽命可以長達一年以上。
潔凈室應設型的人、貨運物流安全通道。工作人員應按照規(guī)定的清潔程序流程進到,并應嚴控總數。針對原材料可在去除塵土后拆掉業(yè)務外包根據緩沖間或傳送柜送進。不一樣清潔級別的潔凈區(qū)物件則根據不銹鋼傳遞窗傳輸。正中間站宜建在中心部位,便于減少運輸間距。清潔區(qū)域內不設與本職位不相干的管道。靈活運用左右或周邊的技術性夾層,全部公共管道、加工工藝管道的主桿管均在技術性夾層安裝。穿越重生路面、隔斷墻的管道盡量挨近應用點并鋪設套管,套管內的管道不應有焊接,管道與套管中間應有可叉的密封性對策。進到潔凈室的管道應是金屬材質。