無(wú)塵車間的主要功能為室內(nèi)污染控制,沒有潔凈室,污染敏感零件不可能批量生產(chǎn)。在FED-STD-2里面,潔凈室被定義為具備空氣過濾、分配、優(yōu)化、構(gòu)造材料和裝置的房間,其中特定的規(guī)則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度,從而達(dá)到適當(dāng)?shù)奈⒘崈舳燃?jí)別。
無(wú)塵車間潔凈室氣流流型的設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列規(guī)定:1、無(wú)塵車間潔凈室的氣流流型和送風(fēng)量應(yīng)符合下表所示的要求,空氣潔凈度等級(jí)要求嚴(yán)于4級(jí)時(shí),應(yīng)采用單向流,空氣潔凈度等級(jí)為4級(jí)-5級(jí)時(shí),應(yīng)采用單向流,空氣潔凈度等級(jí)為6級(jí)-9級(jí)時(shí),應(yīng)采用非單向流。2、無(wú)塵車間潔凈室工作區(qū)的氣流分布應(yīng)均勻3、無(wú)塵車間潔凈室工作區(qū)的氣流流速應(yīng)符合生產(chǎn)工藝要求。
千級(jí)無(wú)塵車間代表什么意思? 每立方將低于0.5μm粒度的微塵總數(shù)操縱在3500個(gè)下列,就做到了國(guó)際性潔凈標(biāo)準(zhǔn)的A1級(jí)?,F(xiàn)階段運(yùn)用在芯片級(jí)生產(chǎn)制造的潔凈標(biāo)準(zhǔn)針對(duì)塵土的規(guī)定高過A1級(jí),那樣的高標(biāo)準(zhǔn)關(guān)鍵被運(yùn)用在一些級(jí)別較高芯片生產(chǎn)上。微塵總數(shù)被嚴(yán)格控制在每立方1000個(gè)之內(nèi),這也就是說(shuō)業(yè)界別名級(jí)別中的千級(jí)。 千級(jí)無(wú)塵車間的標(biāo)準(zhǔn),微塵總數(shù)被嚴(yán)格控制在每立方1000個(gè)之內(nèi),這也就是說(shuō)業(yè)界千級(jí)無(wú)塵車間的含意。(1000級(jí)的定義是:每立方英寸內(nèi),大于0.5的塵土顆粒物不可以超出1000顆)。 無(wú)塵車間級(jí)別標(biāo)準(zhǔn)劃分 潔凈室等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)ISO14644依據(jù)飄浮粒子濃度值這唯1指標(biāo)值來(lái)劃分凈化室(區(qū))及有關(guān)控制計(jì)劃自然環(huán)境中氣體潔凈度等級(jí)的級(jí)別,而且僅考慮到粒度限制值(下限)0.1um~0.5um范圍之內(nèi)總計(jì)遍布的粒子群。