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十萬級無塵車間的監(jiān)測
1、無塵車間系統(tǒng)的監(jiān)測主要是過濾器的更換周期，還有無塵車間對環(huán)境的濕度、溫度、新鮮空氣量、狀態(tài)、照度等都有嚴格的規(guī)定，保證了產(chǎn)品的生產(chǎn)質量和人員工作環(huán)境的舒適。
2、整個無塵車間系統(tǒng)配有一套采用初效、中效、過濾器的三級空氣凈化系統(tǒng)，控制潔凈區(qū)內塵粒數(shù)等。作為末端過濾裝置過濾器決定著整個凈化系統(tǒng)的運行效果，無塵車間裝修因此對于過濾器的更換時間是非常重要的。
3、在無塵車間的裝修里，無論是安裝在凈化空調機組末端的大風量空氣過濾器還是安裝在送風口的空氣過濾器，這些必需要有準確性的運行時間記錄和潔凈度及風量作為更換依據(jù)，如在常態(tài)的使用情況下，過濾器的使用壽命可以長達一年以上。
無塵車間生產(chǎn)對于濕度控制是非常重要的條件之一，無塵車間、潔凈室運作過程中一個常用的環(huán)境控制條件是相對濕度。半導體無塵車間、潔凈室中的典型的相對濕度的目標值大約控制在30至50%的范圍內，允許誤差在±1%的狹窄的范圍內，例如光刻區(qū)或者在遠紫外線處理(DUV)區(qū)甚至更小而在其他地方則可以放松到±5%的范圍內。
潔凈室的分類方法許多，但很多的分類方法是按潔凈室的應用特性和潔凈室的氣流流型來分。 1. 按潔凈室的應用特性區(qū)劃為：①工業(yè)生產(chǎn)潔凈室。比如電子工業(yè)、中國機械、化工廠工業(yè)生產(chǎn)等用的潔凈室。②微生物潔凈室。比如生物醫(yī)1藥、食品類、動物實驗喂養(yǎng)，清潔手術室等。③微生物安全實驗室?？茖W研究不微生物菌1種的潔凈室。 2. 按潔凈室的氣流流型區(qū)劃為：①單向流潔凈室(豎直單向流和水準單向流)。②非單向流潔凈室③混和流潔凈室(即單向流和非單向流組成氣流組成的潔凈室。④矢流潔凈室(放1射性流、頂角流)。
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