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無塵車間生產對于濕度控制是非常重要的條件之一，無塵車間、潔凈室運作過程中一個常用的環(huán)境控制條件是相對濕度。半導體無塵車間、潔凈室中的典型的相對濕度的目標值大約控制在30至50%的范圍內，允許誤差在±1%的狹窄的范圍內，例如光刻區(qū)或者在遠紫外線處理(DUV)區(qū)甚至更小而在其他地方則可以放松到±5%的范圍內。
無塵車間的溫濕度操縱由其生產工藝流程決策，但其精度另外也需看其屋子的尺寸比如計量檢定室、光纖傳感器刻線室、儀器儀表生產制造和裝配線車間等。前兩者都為小屋子，中央空調精度(這兒關鍵指溫濕度)規(guī)定高；后二者為很大的生產制造車間，溫濕度精度規(guī)定較低。因此其屋子尺寸也會決策恒溫恒濕設備車間的精度。無塵車間對溫濕度的操縱決取于其生產工藝流程。在考慮制作工藝的標準下，還應當充分考慮人的舒適度。由于流汗之后，對商品將有環(huán)境污染，非常是怕鈉的半導體材料車間，這類車間不適合超出25度。環(huán)境濕度過高造成的難題大量。相對濕度超出55%時，冷卻循環(huán)水壁厚上面冷凝水，假如產生在高精密設備或電源電路中，就會造成各種各樣安全事故。相對濕度在50%易銹蝕。
無塵車間能夠分成下列好多個級別：1級、百級、千級、萬級、十萬級、三十萬級、百1萬級。 每立方將低于0.5微米粒度的微塵總數操縱在3500個下列，就做到了國際性無塵規(guī)范的A1級?，F(xiàn)階段運用在射頻收發(fā)器生產制造的無塵規(guī)范針對塵土的規(guī)定高過A1級，那樣的高標準關鍵被運用在一些級別較高芯片生產上。微塵總數被嚴控在每立方1000個之內，這也就是業(yè)界別名級別中的萬級。 無塵車間詳細地址的挑選應合乎有益生產制造、便捷生活、節(jié)約項目投資和經營費用的標準。無塵車間與交通出行主干路間隔宜50米之上。
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