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凈化車間材料是凈化廠房墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造，其特點(diǎn)為美觀、剛性強(qiáng)、保溫性能好、易施工。圓弧墻角、門、窗框等一般采用氧化鋁型材制造地面可采用環(huán)氧自流坪地坪或高1級(jí)耐磨塑料地板，有防靜電要求的，可選用防靜電型。送回風(fēng)管道用熱渡鋅板制成，貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發(fā)泡塑膠板送風(fēng)口用不銹鋼框架，美觀清潔，沖孔網(wǎng)板用烤漆鋁板。
無(wú)塵車間生產(chǎn)對(duì)于濕度控制是非常重要的條件之一，無(wú)塵車間、潔凈室運(yùn)作過(guò)程中一個(gè)常用的環(huán)境控制條件是相對(duì)濕度。半導(dǎo)體無(wú)塵車間、潔凈室中的典型的相對(duì)濕度的目標(biāo)值大約控制在30至50%的范圍內(nèi)，允許誤差在±1%的狹窄的范圍內(nèi)，例如光刻區(qū)或者在遠(yuǎn)紫外線處理(DUV)區(qū)甚至更小而在其他地方則可以放松到±5%的范圍內(nèi)。
無(wú)塵車間能夠分成下列好多個(gè)級(jí)別：1級(jí)、百級(jí)、千級(jí)、萬(wàn)級(jí)、十萬(wàn)級(jí)、三十萬(wàn)級(jí)、百1萬(wàn)級(jí)。 每立方將低于0.5微米粒度的微塵總數(shù)操縱在3500個(gè)下列，就做到了國(guó)際性無(wú)塵規(guī)范的A1級(jí)。現(xiàn)階段運(yùn)用在射頻收發(fā)器生產(chǎn)制造的無(wú)塵規(guī)范針對(duì)塵土的規(guī)定高過(guò)A1級(jí)，那樣的高標(biāo)準(zhǔn)關(guān)鍵被運(yùn)用在一些級(jí)別較高芯片生產(chǎn)上。微塵總數(shù)被嚴(yán)控在每立方1000個(gè)之內(nèi)，這也就是業(yè)界別名級(jí)別中的萬(wàn)級(jí)。 無(wú)塵車間詳細(xì)地址的挑選應(yīng)合乎有益生產(chǎn)制造、便捷生活、節(jié)約項(xiàng)目投資和經(jīng)營(yíng)費(fèi)用的標(biāo)準(zhǔn)。無(wú)塵車間與交通出行主干路間隔宜50米之上。
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